產(chǎn)品[
日本ebara 半導體臭氧監(jiān)測儀
]資料
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產(chǎn)品名稱:
日本ebara 半導體臭氧監(jiān)測儀
產(chǎn)品型號:
EG-610系列
產(chǎn)品展商:
ebara
簡單介紹
日本ebara 半導體臭氧監(jiān)測儀
· 采用delta-sigma計算方法,大大提高了可靠性和響應性。
日本ebara半導體臭氧監(jiān)測儀
· 檢測部分和控制部分的分離增加了安裝和安裝的自由度。
· 連續(xù)性測量提高了注意力的跟隨性
· 采用特殊的單元結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)低壓力損失和大流量測量
· 高壓和高壓電池的開發(fā)使在線工藝中的應用成為可能。
日本ebara 半導體臭氧監(jiān)測儀的詳細介紹
日本ebara 半導體臭氧監(jiān)測儀特征:
· 采用delta-sigma計算方法,大大提高了可靠性和響應性。
· 檢測部分和控制部分的分離增加了安裝和安裝的自由度。
· 連續(xù)性測量提高了注意力的跟隨性
· 采用特殊的單元結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)低壓力損失和大流量測量
· 高壓和高壓電池的開發(fā)使在線工藝中的應用成為可能。
· 實現(xiàn)廣泛的濃度范圍
· 提供范圍廣泛的輸入/輸出信號
· 采用高度可靠的紫外吸收法作為測量原理。
*1 關于檢測器型號
① SH5 型:高密閉、超高濃度、高壓規(guī)格
② SH 型:高濃度、高壓規(guī)格
③ SM 型:全聚四氟乙烯、石英規(guī)格(接液氣液部分)
*2 選擇請從濃度范圍列表中。對于未列出的濃度,請聯(lián)系我們。
(1) 500g/m3(N)和1000g/m3(N)無壓力補償。
(2) 2000g/m3(N)以上濃度范圍為減壓補償(選件)。
*3 需要樣氣(水)壓力。根據(jù)測量條件,可以使用外部泵進行抽吸。
*4 即使流量小于指定流量,例如 0.1 L/min 或更少,也可以測量,但可能會分解臭氧并延遲響應時間。
*5 每天調(diào)整一次零點。(使用臭氧源氣體/水進行校正。)
*6 除了標準 I/F 電纜外,還提供 3、5、10 和 15 m。(選件)
*7 詳細規(guī)格請參照規(guī)格書。