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產(chǎn)品[

日本ebara半導(dǎo)體臭氧監(jiān)測(cè)儀

]資料
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產(chǎn)品名稱: 日本ebara半導(dǎo)體臭氧監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào): EG-610
產(chǎn)品展商: ebara
簡(jiǎn)單介紹
日本ebara半導(dǎo)體臭氧監(jiān)測(cè)儀 · 采用delta-sigma計(jì)算方法,大大提高了可靠性和響應(yīng)性。 日本ebara半導(dǎo)體臭氧監(jiān)測(cè)儀 · 檢測(cè)部分和控制部分的分離增加了安裝和安裝的自由度。 · 連續(xù)性測(cè)量提高了注意力的跟隨性 · 采用特殊的單元結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)低壓力損失和大流量測(cè)量 · 高壓和高壓電池的開(kāi)發(fā)使在線工藝中的應(yīng)用成為可能。


日本ebara半導(dǎo)體臭氧監(jiān)測(cè)儀的詳細(xì)介紹

 日本ebara半導(dǎo)體臭氧監(jiān)測(cè)儀特征:

· 采用delta-sigma計(jì)算方法,大大提高了可靠性和響應(yīng)性。

· 檢測(cè)部分和控制部分的分離增加了安裝和安裝的自由度。

· 連續(xù)性測(cè)量提高了注意力的跟隨性

· 采用特殊的單元結(jié)構(gòu),可實(shí)現(xiàn)低壓力損失和大流量測(cè)量

· 高壓和高壓電池的開(kāi)發(fā)使在線工藝中的應(yīng)用成為可能。

· 實(shí)現(xiàn)廣泛的濃度范圍

· 提供范圍廣泛的輸入/輸出信號(hào)

· 采用高度可靠的紫外吸收法作為測(cè)量原理。


*1 關(guān)于檢測(cè)器型號(hào)
① SH5 型:高密閉、超高濃度、高壓規(guī)格
② SH 型:高濃度、高壓規(guī)格
③ SM 型:全聚四氟乙烯、石英規(guī)格(接液氣液部分)
*2 選擇請(qǐng)從濃度范圍列表中。對(duì)于未列出的濃度,請(qǐng)聯(lián)系我們。
         (1) 500g/m3(N)和1000g/m3(N)無(wú)壓力補(bǔ)償。
         (2) 2000g/m3(N)以上濃度范圍為減壓補(bǔ)償(選件)。
*3 需要樣氣(水)壓力。根據(jù)測(cè)量條件,可以使用外部泵進(jìn)行抽吸。
*4 即使流量小于指定流量,例如 0.1 L/min 或更少,也可以測(cè)量,但可能會(huì)分解臭氧并延遲響應(yīng)時(shí)間。
*5 每天調(diào)整一次零點(diǎn)。(使用臭氧源氣體/水進(jìn)行校正。)
*6 除了標(biāo)準(zhǔn) I/F 電纜外,還提供 3、5、10 和 15 m。(選件)
*7 詳細(xì)規(guī)格請(qǐng)參照規(guī)格書(shū)。


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