產(chǎn)品[
住友臭氧水裝置
]資料
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產(chǎn)品名稱(chēng):
住友臭氧水裝置
產(chǎn)品型號(hào):
SGX-1G215NC
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡(jiǎn)單介紹
住友臭氧水裝置
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧水裝置
住友臭氧水裝置的詳細(xì)介紹
住友臭氧水裝置
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧水裝置
住友臭氧水裝置應(yīng)用：
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體信息：
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臭氧氣體流速
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5 to 150ppm
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臭氧氣體供應(yīng)壓力
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*大0.25MPa
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臭氧化超純水流量
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1 to 90L/min
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原料氣
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氧、氮、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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住友臭氧水裝置優(yōu)勢(shì)：
濃度高，流量大
占地面積小，緊湊
運(yùn)行成本低（功耗低，易損件數(shù)量少，放電單元壽命長(zhǎng)）
高壓耐受，長(zhǎng)壽命放電單元
快速啟動(dòng)，快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
關(guān)閉期間免維護(hù)
無(wú)氮臭氧
