住友臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧發(fā)生器

應(yīng)用：
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管

具體信息：

臭氧氣體流速	300g/?(N)
臭氧氣體供應(yīng)壓力	140L/min、175L/min、210L/min（200g/?(N))
冷卻水溫度	20°C±2°C
尺寸	W700×D900×H2,154 (140L/min)
冷卻水流速比	>48L/min
功率	AC200V　3-phase

 

優(yōu)勢(shì)：

高流量；高達(dá)210 l/min

高壓耐受，長(zhǎng)壽命放電單元

快速啟動(dòng)，快速響應(yīng)

與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度

住友臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視

住友臭氧發(fā)生器

住友臭氧發(fā)生器

住友臭氧發(fā)生器

產(chǎn)品留言

標(biāo)題

聯(lián)系人

聯(lián)系電話

內(nèi)容

驗(yàn)證碼

點(diǎn)擊換一張

注：1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
2.如有必要,請(qǐng)您留下您的詳細(xì)聯(lián)系方式!