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產(chǎn)品[

住友立式臭氧發(fā)生器

]資料
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產(chǎn)品名稱: 住友立式臭氧發(fā)生器
產(chǎn)品型號(hào): GRF Series
產(chǎn)品展商: 其它品牌
簡(jiǎn)單介紹
住友立式臭氧發(fā)生器 住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。 住友立式臭氧發(fā)生器


住友立式臭氧發(fā)生器的詳細(xì)介紹

住友立式臭氧發(fā)生器

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池,通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成,以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/(n),是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友立式臭氧發(fā)生器


應(yīng)用:

1. 半導(dǎo)體器件

2. Si/復(fù)合晶圓

3. FDPLTPS、HTPSTFT、彩色濾光片、OLED

4. 光罩

5. 發(fā)光二極管

 

具體規(guī)格

臭氧氣體流速

1L/min to 24L/min 
[at 210g/m3(N)]

臭氧氣體供應(yīng)壓力

*大0.15MPa

冷卻水溫度

20°C±2°C

尺寸

W483mm x D453mm x H266mm

重量

30 to 45kg

功率

200-220VAC, 3-phase



優(yōu)勢(shì):

高濃度;高達(dá)400g/m3N),不含氮摻雜

19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

豐富的產(chǎn)品線;小容量到大容量

高壓耐受,長(zhǎng)壽命放電單元

快速啟動(dòng),快速響應(yīng)

與臭氧監(jiān)測(cè)儀(閉環(huán)控制)集成的穩(wěn)定濃度

CENRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用

管道材料;從316LSSP中選擇


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