產(chǎn)品[
住友臭氧發(fā)生儀器
]資料
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產(chǎn)品名稱:
住友臭氧發(fā)生儀器
產(chǎn)品型號:
GRP Series
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡單介紹
住友臭氧發(fā)生儀器
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀器
住友臭氧發(fā)生儀器的詳細介紹
住友臭氧發(fā)生儀器
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀器
應用：
1.半導體器件
2.Si/復合晶圓
3.FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
4.光罩
5.發(fā)光二極管
具體規(guī)格
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臭氧氣體流速
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1.5L/min to 5L/min
[at 350g/m3(N)]
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臭氧氣體供應壓力
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*大0.3MPa
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冷卻水溫度
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20°C±2°C
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氮摻雜比
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0.1%(volume)against oxygen
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尺寸
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W483mm x D453mm x H266mm
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重量
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30 到 40kg
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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特征：
高濃度；高達400g/m3（N），高壓；*大0.3Mpa
19英寸機架尺寸標準型號
高壓耐受，長壽命放電單元
快速啟動，快速響應
與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標準適用
管道材料；從316LSS或PFA中選擇
