住友臭氧發(fā)生儀

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。

住友臭氧發(fā)生儀

應用：
半導體器件
Si/復合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管

具體信息：

臭氧氣體流速	300g/?(N)
臭氧氣體供應壓力	140L/min、175L/min、210L/min（200g/?(N))
冷卻水溫度	20°C±2°C
尺寸	W700×D900×H2,154 (140L/min)
冷卻水流速比	>48L/min
功率	AC200V　3-phase

 

優(yōu)勢：

高流量；高達210 l/min

高壓耐受，長壽命放電單元

快速啟動，快速響應

與臭氧監(jiān)測儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度

住友臭氧發(fā)生儀

住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視

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