產(chǎn)品[
住友臭氧發(fā)生儀
]資料
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產(chǎn)品名稱:
住友臭氧發(fā)生儀
產(chǎn)品型號(hào):
SGX-1B11SN
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡(jiǎn)單介紹
住友臭氧發(fā)生儀
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
住友臭氧發(fā)生儀的詳細(xì)介紹
住友臭氧發(fā)生儀
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生儀
住友臭氧發(fā)生儀應(yīng)用：
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體信息：
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溶解臭氧濃度
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5 to 150ppm
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臭氧化超純水流量
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1 to 90L/min
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原料氣
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氧、氮、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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住友臭氧發(fā)生儀優(yōu)勢(shì)
臭氧溶解單元的安裝使其能夠在管道輸送過(guò)程中防止臭氧溶解濃度的下降。
Contribute to reduction of foot print.（One ozone generator supplies ozone gas to multi dissolution units.）
高濃度，大流速
低運(yùn)行成本（低功耗，小部分消耗，長(zhǎng)壽命周期放電細(xì)胞）
高壓耐受長(zhǎng)壽周期放電細(xì)胞
穩(wěn)定濃度（閉環(huán)控制）
關(guān)閉時(shí)維護(hù)自由
無(wú)臭氧水
