產(chǎn)品[
住友臭氧水裝置
]資料
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產(chǎn)品名稱:
住友臭氧水裝置
產(chǎn)品型號(hào):
GR系列
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡(jiǎn)單介紹
住友臭氧水裝置
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧水裝置
住友臭氧水裝置的詳細(xì)介紹
住友臭氧水裝置
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧水裝置
應(yīng)用：
半導(dǎo)體器件
Si/復(fù)合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體信息：
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臭氧氣體流速
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210g/?(N)
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臭氧氣體供應(yīng)壓力
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1L/min～14L/min
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冷卻水溫度
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尺寸
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W483× H266× D454
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冷卻水流量表
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1～10L/min
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功率
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AC200V 3-phase
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優(yōu)勢(shì)
19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
內(nèi)部氣體流量和壓力傳感器
19英寸背包尺寸
與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
高壓耐受，長(zhǎng)壽命放電單元
快速啟動(dòng)，快速響應(yīng)
