產(chǎn)品[
住友臭氧發(fā)生器
]資料
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產(chǎn)品名稱:
住友臭氧發(fā)生器
產(chǎn)品型號:
SGX-1B11SN
產(chǎn)品展商:
其它品牌
簡單介紹
住友臭氧發(fā)生器
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生器
住友臭氧發(fā)生器的詳細介紹
住友臭氧發(fā)生器
住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達到極低水平。臭氧濃度超過400g/（n），是市場上的上等產(chǎn)品。在半導體、FDP等電子器件材料的干濕加工過程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友臭氧發(fā)生器
應用：
半導體器件
Si/復合晶圓
FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
光罩
發(fā)光二極管
具體信息：
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溶解臭氧濃度
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5 to 150ppm
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臭氧化超純水流量
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1 to 90L/min
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原料氣
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氧、氮、二氧化碳
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功率
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200-220VAC, 3-phase
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優(yōu)勢
臭氧溶解單元的安裝使其能夠在管道輸送過程中防止臭氧溶解濃度的下降。
Contribute to reduction of foot print.（One ozone generator supplies ozone gas to multi dissolution units.）
高濃度，大流速
低運行成本（低功耗，小部分消耗，長壽命周期放電細胞）
高壓耐受長壽周期放電細胞
穩(wěn)定濃度（閉環(huán)控制）
關(guān)閉時維護自由
無臭氧水
