對于大型的新生產(chǎn)廠商，通常是很容易作出不再以氣柜作為氣體供應和分配的決定。但是這對于較小的半導體制造商并不容易。BOCEdwards公司全球產(chǎn)品經(jīng)理MikeMarmaro說:“有一個不錯的經(jīng)驗規(guī)律：直到每分鐘50標準立升為止，氣柜都是有效的。只要超過此標準，你就需要增加多個氣柜或者一套特殊的大宗氣體系統(tǒng)。”

         如果依據(jù)需要，以大宗氣體系統(tǒng)取代多個氣柜，正如MikeMarmaro指出的，一套可取代六個氣柜的大宗氣體系統(tǒng)并沒有六倍那么貴。他說：“而且產(chǎn)品本身的價格也可帶來經(jīng)濟效益，購買的體積越大，則相對越便宜?！?br>
        但是這些效益并不意味著現(xiàn)有的加工廠必須著手改變他們已有的氣體配送方式。美國Air Liquid Electronics公司行銷主管IsabelleLauzon說：“只要達到一定條件，對他們來說，制造300mm硅片比繼續(xù)生產(chǎn)200mm的硅片更便宜，客戶們就會轉向300mm硅片。當公司建立新的加工基地時，正是他們采用*新工藝的機會，這就是為什么我們看到越來越多的大宗氣體和化學制品配送系統(tǒng)的原因?！?br>
大宗氣體配送系統(tǒng)的另一個優(yōu)點是明顯減少了更換鋼瓶的需要。這個優(yōu)點體現(xiàn)在兩個方面。**，連接和重接越少，加工氣體被污染的可能性就越小──一個直接影響生產(chǎn)的問題。**，較低的更換頻率明顯減少了員工暴露于這些有害物質(zhì)中的可能性。

即使具有這些優(yōu)點，仍然存在許多挑戰(zhàn)和大宗特種氣體配送系統(tǒng)所必需的**措施。從使用氣柜為單一設備供氣到使用大宗系統(tǒng)為多個設備供氣，這一轉變意味著系統(tǒng)的可靠性比以往任何時候都重要。

BOC Edwards公司的阿拉巴馬州Huntsville辦事處技術經(jīng)理BillTucker說：“一個氣柜對應一臺設備的時代已經(jīng)過去了。我們看到越來越多的客戶希望設備提供冗余，這樣，如果失去部分氣源，他們依然可以維持**生產(chǎn)。我們至少已提供六臺冗余系統(tǒng)，但是它們只是特別針對我們客戶的，他們需要這些系統(tǒng)因為他們不希望任何設備在任何情況下停止運轉?！?br>
因為設備的停機時間一直是關注的焦點，新的氣體配送系統(tǒng)使一些工業(yè)供應商加強他們的現(xiàn)場制氣服務以管理物流，并解決潛在的問題。例如，在過去的一年里，AirLiquide公司推出一種稱為FabGenius的產(chǎn)品服務。這個系統(tǒng)不僅采集數(shù)據(jù)，而且學習什么是特定系統(tǒng)的正常操作，什么不是。Lauzon說：“它的用途是區(qū)分真正的和虛假的警報，或者分辨怎樣的問題會發(fā)展并惡化。有時候，監(jiān)測系統(tǒng)會發(fā)送一個誤差引起的警報。FabGenius將能夠確定哪些屬于正常誤差范圍，而哪些需要引起注意。這樣可以減少警報數(shù)量，甚至可以幫助引起管理人員對正在發(fā)生并需要注意的問題的警覺?！?br>
正如Lauzon指出的，控制室是接收關于氣體配送系統(tǒng)的數(shù)據(jù)的地方，通常只是靜態(tài)接收數(shù)據(jù)的區(qū)域。數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制室，達到預設的閾值時報警。Lauzon說：“通常，客戶擁有某種中央監(jiān)控系統(tǒng)，其加工基地中的配送中心的某些關鍵參數(shù)被送到控制室。但是那只是監(jiān)測系統(tǒng)在監(jiān)視并報警，但是它并不思考。當某些地方出錯時它僅僅發(fā)出警報。擁有了FabGenius系統(tǒng)，Air Liquide表示正在著手下一步的發(fā)展。

一套在動力站房里工作的Air Liquide的大宗氣體配送系統(tǒng)